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超纯水既然从字典中查不到这个词，这个词是新近引进的，从字面意思，超越过，高出：超越。高超。超出。超额。超龄。超等。超载。超重。超支。跳上，跨过：“挟泰山以超北海”。在一定范围以外：超自然。超音速。超导现象。遥远：超遥。超忽。纯专一不杂：纯粹。纯然。单纯。纯金。纯铜。纯正。纯净。纯熟。纯度。丝：“子曰：‘麻冕，礼也；今也纯，俭，吾从众’”。大：纯嘏（极大的福分）。人品的美好：纯朴。纯真。纯厚。纯笃。纯洁。纯稚。超纯水的真实含义是远高于纯水的纯净，但是不是百分之一百纯净，毕竟好友空气溶解等。

从百度上查到超纯水（Ultrapure water）又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。超纯水可以在以下领域使用：（1）电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。（2）化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。（3）单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。（4）高压变电器的清洗等，其实超纯水用途比较多的是电子仪器和实验室用的超纯水，要规模生产超纯水，目前有两种技术，一种是EDI，即是电去离子净水技术，这种技术是一种将电渗析和离子交换相结合的脱盐新工艺，其英文名称为electrodeionization，缩写成EDI，连续电去离子EDI是将传统电渗析技术和离子交换技术相结合，在电场力的作用下，通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的选择透过性作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用，使水中离子作定向迁移，从而实现水的深度净化除盐。水电解产生的氢离子和氢氧根离子对树脂进行连续再生，因此EDI模块制水过程不需要酸碱化学再生即可连续制取高品质超纯水，当今这种技术已较为成熟，可以大规模生产使用生产超纯水，但是，EDI运行成本稍高，需要定期维护更新，成本比较去离子水稍高，

但是比工业蒸馏水要低很多可以普遍使用。超纯水的指标基本的有电导率和PH值，工业超纯水的电导率一般为0.06-0.6左右，PH值一般为7上下1范围波动。要求不高的工业去离子水和工业超纯水是可以互相替换使用的，工业去离子水的成本较低，试验科研一般用工业超纯水，电瓶蒸馏水可以用超纯水代替，电瓶蒸馏水成本较高，用超纯水替代可以有力降低成本。超纯水的用途还是比较广泛的。另外一种超纯水生产技术是离子交换柱法，用抛光树脂阳离子交换树脂、阴离子交换树脂和两个离子交换树脂。离子交换树脂的基本原理：在离子交换过程中，水中的阳离子(如Na+、Ca2+、 K+、 Mg2+、Fe3+等)与阳离子交换树脂上的H+ 进行交换，水中阳离子被转移到树脂上，而树脂上的H+交换到水中。水中的阴离子(如Cl-、HCO3-等)与阴离子交换树脂上的OH-进行交换，水中阴离子被转移到树脂上，而树脂上的OH- 交换到水中。而H+ 与OH- 相结合生成水，从而达到脱盐纯化水的目的